従来比約2倍の貼付スピードを実現した全自動真空テープ貼付装置「ATL-200DC」を発売

2013年1月15日
NECエンジニアリング株式会社

全自動真空テープ貼付装置　ATL-200DC

NECエンジニアリングは、半導体ウェハやガラス、フィルムなど、多様な製品にテープやフィルムの貼付が可能な真空テープ貼付装置に、全自動機種「ATL-200DC」を追加し、本日より受注を開始しました。

新製品の主な特長は、次のとおりです。

従来機に比べ貼付スピードが約2倍の全自動機
ウェハ表面に構造物のあるMEMSやTAIKO®ウェハを始めとする極薄ウェハ1枚に対するテープ貼付時間は1分弱と、当社製半自動真空テープ貼付装置（VLT-100）比約2倍のスピードにて貼付可能であり、生産性が大幅に向上しました。
カセットtoカセット（注1）にてウェハやテープを自動搬送、供給するため、熟練した技術を必要とせず、作業者の技量に関係なく均一な生産品質を保つことが可能です。
低負荷で高い密着性
真空差圧方式を用いた当社独自の真空貼付により、極薄ウェハにも気泡が入りにくく密着性の高い貼付が可能です。また貼り付けローラが不要なため、ウェハに局部的な負荷を与えません。
テープ使用効率の向上によりコストと環境負荷を低減
インライン式プリカット方式（注2）の採用によりテープにかかるコストを最大約40％削減することが可能であり、テープ使用量および廃棄量を抑えることで環境負荷の軽減が可能です。
さらに、テープ残材の巻き取りにコアレス構造を採用したことで、従来行っていたテープ残材と巻き取り芯の分別作業が不要となり、テープ交換作業を簡素化しました。

本製品の価格は、税別3,500万円（注3）であり、半導体製品製造メーカ、ダイシングやメッキなどの加工を行っているEMS(注4)企業などを中心に、今後2年間で4億円の売り上げを見込んでいます。

新製品の基本仕様については、以下をご参照ください。

－以上－

(注1)　カセットtoカセット
ウェハを収めたカセットをセットし、一連の作業を終えてテープが貼付されたウェハがフレームカセットへ収められるまでの工程。

(注2)　インライン式プリカット方式
大宮工業製プリカット貼付ユニットを採用。
円形状に連続カットすることでプリカット間の無駄を省き、テープ消費量の削減が可能。

(注3)　本価格には、カスタマイズ費、設置費、現地調整費などは含まれません。

(注4)　EMS：Electronics Manufacturing Service

＊TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。

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